Mae technoleg micromachining yn broses hyblyg iawn, a all gynhyrchu cydrannau micro gyda siapiau cymhleth. Yn ogystal, gellir ei gymhwyso i ystod eang o ddeunyddiau. Mae ei allu i addasu yn ei gwneud yn arbennig o addas ar gyfer gweithrediad cyflym o'r syniad i'r prototeip, gweithgynhyrchu strwythurau 3D cymhleth, a dylunio a datblygu cynnyrch ailadroddus,
1. Technoleg micromachining corfforol
Prosesu pelydr laser: proses brosesu sy'n defnyddio'r ynni gwres a arweinir gan y trawst laser i dynnu deunyddiau o arwynebau metel neu anfetel. Mae'n fwy addas ar gyfer deunyddiau brau â dargludedd isel, ond gellir ei ddefnyddio ar gyfer y rhan fwyaf o ddeunyddiau.
Prosesu trawst ïon: technoleg gweithgynhyrchu anghonfensiynol bwysig ar gyfer gweithgynhyrchu micro / nano. Mae'n defnyddio'r llif ïon carlam yn y siambr gwactod i dynnu, ychwanegu neu addasu'r atomau ar wyneb y gwrthrych.
2. Technoleg micromachining cemegol
Ysgythriad ïon adweithiol (RIE): proses plasma lle mae sylweddau'n cael eu cyffroi gan ollyngiad RF i swbstradau neu ffilmiau ysgythru mewn siambr foltedd isel. Mae'n broses synergaidd o sylweddau gweithredol cemegol a peledu ïon ynni uchel.
Peiriannu electrocemegol (ECM): dull o dynnu metelau trwy brosesau electrocemegol. Fe'i defnyddir fel arfer ar gyfer cynhyrchu a phrosesu deunyddiau caled iawn neu ddeunyddiau sy'n anodd eu prosesu trwy ddulliau traddodiadol ar raddfa fawr. Mae ei ddefnydd yn gyfyngedig i ddeunyddiau dargludol. Gall ECM dorri onglau bach neu afreolaidd, cyfuchliniau cymhleth neu geudodau mewn metelau caled a phrin.
3. Technoleg micromachining mecanyddol
Troi diemwnt: y broses o droi neu beiriannu cydrannau manwl gyda turn neu beiriant deilliadol sydd â did diemwnt naturiol neu synthetig.
Melin diemwnt: proses dorri y gellir ei defnyddio i gynhyrchu arae lens asfferig trwy dorri cylchol gan ddefnyddio offeryn diemwnt sfferig.
Malu manwl: peiriannu sgraffiniol sy'n caniatáu i'r darn gwaith gael ei beiriannu i orffeniad wyneb mân a goddefgarwch agos iawn o 0.0001".
Sgleinio: prosesu sgraffiniol, mae sgleinio trawst ïon argon yn broses weddol sefydlog, a ddefnyddir ar gyfer gorffen drychau telesgop a chywiro gwallau gweddilliol sgleinio mecanyddol neu ddyfeisiau optegol troi diemwnt. Proses MRF yw'r broses sgleinio penderfynol gyntaf. Wedi'i fasnacheiddio a'i ddefnyddio wrth gynhyrchu lensys asfferig, adlewyrchyddion, ac ati.
