Nid yw prosesu rhannau manwl gywir yn bosibl i gwblhau'r holl gynnwys prosesu wyneb mewn un broses, gellir rhannu'r broses gyfan o brosesu rhannau manwl yn y camau canlynol.
1, cam roughing. Torri i ffwrdd y rhan fwyaf o lwfans peiriannu pob arwyneb prosesu, a phrosesu allan o'r cyfeirnod dirwy, y brif ystyriaeth yw cynyddu cynhyrchiant cymaint â phosibl.
2, cam lled-orffen. Torrwch y diffygion a all godi ar ôl peiriannu garw, a pharatowch ar gyfer gorffen yr wyneb, sy'n gofyn am gywirdeb peiriannu penodol a sicrhau'r ymyl gorffen priodol, wrth gwblhau peiriannu'r arwyneb eilaidd.
3, cam gorffen. Yn y cam hwn, mae'r defnydd o gyflymder torri mawr, porthiant bach a dyfnder y toriad, tynnwch yr ymyl gorffen a adawyd gan y broses flaenorol, fel bod wyneb y rhan i gwrdd â gofynion technegol y lluniad.
4, cam gorffen ysgafn. Defnyddir yn bennaf i leihau'r gwerth garwedd wyneb neu gryfhau'r arwyneb prosesu, yn bennaf ar gyfer gofynion garwedd wyneb yn uchel iawn (ra Llai na neu'n hafal i 0.32μm) prosesu wyneb.
5, cam peiriannu uwch-fanwl. Cywirdeb peiriannu yn 0.1-0.01μm, gwerth garwedd arwyneb Llai na neu'n hafal i gam prosesu 0.001μm. Y prif ddulliau prosesu yw: torri manwl gywir, malu drych mân, malu a sgleinio manwl gywir, ac ati.